Home   |    Expertise   |    Projecten   |    Netwerk   |    Visie   |    Contact
Functional Specification
System Analysis
Conceptual Design
Competence Development

"Waar HiPrecision in uitmunt? Het brengen van inzicht en structuur. Inhoudelijke sturing. Zo helpen we onze klanten vooruit om hun produkten steeds verder te verbeteren"
Ir. Tom Bijnagte, eigenaar HiPrecision

Projecten

 

1. Wafer layer characterisation tool

Voor de productie van geheugenchips worden
verschillende lagen aangebracht op een wafer.
Voor het vaststellen van typische eigenschappen
van deze lagen is een tool met nanometerprecisie
ontworpen. HiPrecision tekende voor het
systeemontwerp van het prototype.  


2. Printkop voor een industriele 3D printer

Een van de modules in een FFF-printer (fused filament fabrication) is de printkop,
waar het filament wordt gesmolten en gedoseerd. HiPrecision droeg als functie-
eigenaar bij aan het ontwerptraject, van vooronderzoek tot productierijpe module.  


3. Side wall characterisation with 3D AFM

Vanwege toenemende miniaturisatie van de IC's wordt het steeds moeilijker
procescontrole uit te voeren op de kwaliteit van de geproduceerde sporen.
HiPrecision was system architect van een tool om het profiel van zo'n
spoor te meten, door middel van 3D AFM.
Presentatie 3D AFM:

  


4. Tool voor sub-10nm deeltjesdetectie

Bij de productie van chip zijn kleine deeltjes op de wafer storend voor de vervolgstappen in
het proces. HiPrecision werkte aan een prototype voor High Throughput deeltjesdetectie met
SPM op wafers. HiPrecision zorgde voor het mechanisch systeemontwerp.


Bekijk Flexible High Throughput SPM op You-Tube [3:18]:

  


5. Systeemtolerantieketens EUV plasmabron

Voor een belangrijke speler in de semiconductorwereld droeg HiPrecision bij aan
de ontwikkeling van de EUV lichtbron. HiPrecision inventariseerde de relevante
tolerantieketens die het positioneren van de lichtbundel ten opzichte van het
lithografisch systeem mogelijk maakt. De toepassing van een hierachisch
tolerantiemodel, met traceerbare tolerantie-specificaties was een van de nieuwe
ontwikkelingen uit de koker van HiPrecision.  


6. Thermisch model positioneermodule in vacuum

MAPPER Lithography in Delft produceerde electron-optisch lithografiemachines voor
de halfgeleider industrie. HiPrecision stelde een gedetailleerd thermisch model
op om de warmteoverdracht binnen de positioneermodule, en tussen module en zijn
omgeving, in kaart te brengen. Warmteoverdracht via straling tussen verschillende
lichamen was een van de kernpunten van de analyse.  


7. Machine voor medicijnproductie - cryogeen

Voor een belangrijke speler in de pharma-wereld maakte HiPrecision het systeemontwerp
voor een high-volume productiemachine. Omdat koude-thermische aspecten en belangrijke
rol speelden, zette HiPrecision enkele lijnen uit voor het thermisch ontwerp, en toonde
de werking aan met enkele rekenmodellen. Verder begeleidde HiPrecision de hiervoor
benodigde experimenten.  


8. Trillingsreductie TEM

FEI hoogste resolutie transmissie-electronenmicroscoop vraagt een positioneringsstabiliteit
in het gebied van enkele tientallen picometers, van het specimen ten opzichte van de
electronenbundel. HiPrecision inventariseerde trillingsbronnen in het bestaande microscoop-
ontwerp en deed concrete aanbevelingen voor trillingsreductie. In dit project speelden
trillingsmeting en -analyse, en modelering van demping een belangrijke rol. 

www.fei.com   


9. Motion sensoren in vacuum

De meest geavanceerde chipmachines belichten de wafer in vacuum. De positionering van de
wafer in vacuum wordt gedaan door een complex mechatronisch systeem, de wafer stage.
HiPrecision coordineerde het uitbestede ontwikkelproces voor de contactloze positiesensoren,
waarbij regeltechniek, calibratieprocedures, thermisch, mechanisch en electronisch ontwerp
een belangrijke rol speelde. Vervolgens begeleidde HiPrecision de ontwikkeling en
kwalificatie van de sensoren bij de toeleveranciers. 


10. Piezo-sensor en -actuator als trillingsdemper

Door een piezo krachtsensor en een piezo-actuator in serie te plaatsen, en de sensor
terug te koppelen naar de actuator, ontstaat een aktieve trillingsdemper. HiPrecision
ondersteunde de ontwikkeling van een dergelijke trillingsdemper met analyses en
berekeningen in de concept fase en door begeleiding van het detailed design.  

www.heinmade.com   


11. Cursus Tolerantie-analyse

In samenwerking met Mikrocentrum ontwikkelde HiPrecision een 3-daagse cursus
Tolerantieanalyse. De cursus behandelt een methode om toleranties systematisch in
kaart te brengen.


12. Consultancy

Voor diverse partijen heeft HiPrecision kortlopende consultancy-opdrachten uitgevoerd.
Voorbeelden zijn trillingsmetingen, stijfheidsberekeningen, advies bij montageproblemen
en een lijmonderzoek. In alle gevallen leverde HiPrecision praktische en concrete
aanbevelingen. Ook ontwikkelde HiPrecision enkele korte in-company workshops over
specifieke technische onderwerpen.

 

 





------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
HiPrecision, Kerkstraat 10, 4196 AB Tricht, 0345-618676
Kamer van Koophandel: 11058717 -- BTW-identificatienummer: NL002138985B22